Контроль, диагностика, испытания КОНТРОЛЬ, ДИАГНОСТИКА, ИСПЫТАНИЯ УДК 531.7, 681.2.08 Д.Ю. БОГОМОЛОВ, В.В. ПОРОШИН, О.В. ПОРОШИН ПРЕЦИЗИОННАЯ ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОПОГРАФИИ РАБОЧИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ МЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ В НАНОДИАПАЗОНЕ Представлена прецизионная измерительная система для трехмерного анализа топографии поверхности в нанодиапазоне. <...> Измерительная система основана на метрологическом атомном силовом микроскопе, оснащенном измерительным столиком с расширенным диапазоном горизонтальных перемещений. <...> В системе реализован количественный трехмерный анализ текстуры поверхности в соответствии с недавно принятым международным стандартом ISO 25178–2:2012. <...> Динамика, надежность и долговечность механических систем во многом определяются состоянием поверхностного слоя взаимодействующих элементов. <...> Для оценки качества поверхностного слоя традиционно используется количественный анализ путем вычисления ряда научно обоснованных геометрических параметров. <...> Ввиду малого времени измерения, простоты в использовании и низкой стоимости измерительного оборудования, двухмерный профильный анализ с помощью щуповых профилометров до сих пор является основным методом оценки топографии поверхности. <...> В то же время развитие высокотехнологичных и наукоемких производств в микроэлектронике, авиационной, космической, атомной, медицинской промышленности, на предприятиях оборонного комплекса и других отраслей реального сектора экономики требует широкого внедрения новых прецизионных методов измерения топографии поверхности с разрешением до нанометров. <...> Так, допускаемая погрешность формы изготовления деталей для медицинской техники, аппаратов для биологических исследований, деталей оптической техники и т.п. составляет 10.100 нм, а амплитуда шероховатости поверхности 2–10 нм. <...> Однако в настоящее время в России нет собственных серийных высокоточных автоматизированных приборов, которые позволили <...>