Фундаментальные и прикладные проблемы техники и технологии УДК 537.523.74 А.В. КОВАЛЬЧУК, А.Г. САМСОНОВ, Ю.П. ЮЛЕНЕЦ ДИАГНОСТИКА ХАРАКТЕРИСТИК ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ЕМКОСТНОГО РАЗРЯДА Предложен метод диагностики характеристик высокочастотного емкостного разряда, используемого в плазмохимических процессах модифицирования твердых материалов. <...> Метод предусматривает подключение к разрядному конденсатору измерительного колебательного контура и дальнейшее определение параметров цепи – тока разряда, активного сопротивления плазмы, эквивалентной емкости разрядного конденсатора в условиях настройки контура в резонанс. <...> Ключевые слова: высокочастотный емкостный разряд; модифицирование поверхности; плазмохимические процессы; диагностика характеристик. <...> Низкотемпературная плазма находит применение в различных областях техники. <...> Наибольшее практическое распространение получили процессы плазменного модифицирования (изменения свойств) поверхности твердых материалов для придания им гидрофильности (или гидрофобности), накрашиваемости, хорошей адгезии к металлическим поверхностям, адгезионных свойств при изготовлении композиционных материалов [1-4]. <...> Другую группу составляют процессы получения плазмополимеризованных пленок на твердых поверхностях, используемые при производстве полупроводниковых материалов с новыми свойствами, в медицине, в резиновой промышленности для улучшения трибологических характеристик резинотехнических изделий и др. <...> . Однако несмотря на достигнутые результаты, механизм взаимодействия системы низкотемпературная плазма (твердая поверхность) изучен недостаточно, а полученные положительные эффекты не находят ясного физического истолкования. <...> Среди плазменных процессов существенными преимуществами (равномерность обработки, устойчивость к шнурованию, неограниченный ресурс работы) отличается неравновесная плазма высокочастотного емкостного <...>