Фундаментальные и прикладные проблемы техники и технологии УДК 541.128 М.В. ХОРОШИЛОВА ЭЛЕКТРОННОЕ И ФОНОННОЕ ВОЗБУЖДЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК ЗОЛОТА АТОМАРНЫМ ВОДОРОДОМ И СОПУТСТВУЮЩИЕ ЭФФЕКТЫ При протекании на поверхности тонких золотых пленок, напыленных на поверхность кремния, гетерогенной реакции H + H H2 происходит электронное и фононное возбуждение металла. <...> Электронное возбуждение приводит к возникновению хемоЭДС на контактах структуры золото-кремний и изменению электропроводности структуры, а также к частичному распыление золотой пленки с наиболее дефектных участков поверхности. <...> Ключевые слова: поверхность тонких плёнок, поверхность кремния, гетерогенная реакция,электронное возбуждение, структура золото-кремний, электропроводность. <...> ВВЕДЕНИЕ При гетерогенной рекомбинации атомов водорода, протекающей по ударному механизму Или-Ридила и механизму рекомбинационной десорбции Ленгмюра-Хиншельвуда, поверхность твердого тела получает энергию порядка 1 эВ [1-4]. <...> Возбуждение поверхности происходит и при рекомбинации предадсорбированных атомов [5-7]. <...> Релаксация возбужденных химических связей на поверхности обусловлена генерацией фононов или возникновением возбужденных состояний электронов твердого тела. <...> О возбуждении электронной подсистемы поверхности свидетельствуют неравновесная электропроводность [8, 9], люминесценция полупроводников [9, 10] и эмиссия электронов в газовую среду [9, 11]. <...> В работе описаны обусловленные электронным возбуждением поверхности тонкой золотой пленки эффекты изменения сопротивления структуры золото-кремний, возникновение хемоЭДС на ней. <...> Уровень фононного возбуждения не может обеспечить эффект распыления атомов пленки в виду высокой теплопроводности кристаллической решетки, эффект обусловлен возбуждением электронной подсистемы металла при рекомбинации атомов водорода на его поверхности. <...> Обнаружено влияние на указанные эффекты времени выдержки образцов <...>