94 ФИЗИЧЕСКАЯ АППАРАТУРА И ЕЁ ЭЛЕМЕНТЫ УДК 537.212, 537.213 Цилиндрический зеркальный энергоанализатор модифицированной конструкции Л. А. Баранова Проведено компьютерное моделирование цилиндрического зеркального энергоанализатора, внешний электрод которого разрезан на несколько электрически изолированных частей, потенциалы на которых могут регулироваться независимо друг от друга. <...> Показано, что в традиционном режиме работы цилиндрического зеркала (запуск заряженных частиц через внутренний цилиндр) модифицированная конструкция в режиме фокусировки второго порядка позволяет в пять раз уменьшить доминирующий коэффициент сферической аберрации третьего порядка, что приводит к существенному повышению разрешающей способности и светосилы анализатора. <...> С целью повышения линейной дисперсии анализатора при запуске заряженных частиц через торцевую диафрагму, перпендикулярную оси анализатора, предложено использовать модифицированную конструкцию в двухкаскадном режиме работы с регистрацией заряженных частиц при их вторичном пересечении оси. <...> Независимая регулировка потенциалов на разрезанном внешнем цилиндре позволяет реализовать фокусировку второго порядка в обоих каскадах и повысить линейную дисперсию анализатора в четыре раза по сравнению с однокаскадным режимом. <...> Qg Ключевые слова: энергоанализатор, цилиндрическое зеркало, разрешающая способность, линейная дисперсия, сферическая аберрация, светосила. <...> Введение Анализатор энергий заряженных частиц на основе электростатического цилиндрического зеркала широко применяется в промышленности и научных исследованиях для определения состава и свойств материалов посредством анализа энергетических спектров заряженных частиц, эмитируемых образцами. <...> Достоинствами цилиндрического зеркала являются простота конструкции, высокая разрешающая способность, обусловленная наличием фокусировки второго порядка по меридиональному углу <...>