Прикладная физика, 2016, № 4 ФИЗИКА ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ МЕТОДЫ УДК 537.525 Влияние газообразных продуктов гетерогенных реакций на параметры плазмы аргона С. А. Смирнов, В. А. Титов, Т. Г. Шикова, А. А. Овцын, Д. В. Кадников Представлены экспериментальные данные о параметрах плазмы и о составе газообразных продуктов при обработке ткани из полиэтилентерефталата в плазме пониженного давления (50—300 Па) в аргоне. <...> Анализ газовой фазы проводили методами эмиссионной спектроскопии и масс-спектрометрии. <...> При различной площади обрабатываемого материала измерена напряженность электрического поля и температура газа на оси разряда, мольные доли продуктов деструкции полимера. <...> Показано, что с увеличением площади обрабатываемого материала в реакторе изменяется приведенная напряженность электрического поля, температура газа, средняя энергия электронов и коэффициенты скоростей процессов с участием электронов. <...> Спектры излучения плазмы показали, что диссоциация продуктов деструкции полимера приводит к изменению состава активных частиц плазмы: а именно, к образованию атомов О, Н и радикалов ОН. <...> PACS: 52.40 Hf Ключевые слова: плазма, аргон, эмиссионная спектроскопия, масс-спектрометрия, напряженность электрического поля, температура газа, функция распределения электронов по энергии, газообразные продукты, полиэтилентерефталат. <...> Введение Неравновесная плазма при пониженном или атмосферном давлении широко используется для модифицирования поверхности синтетических и натуральных полимерных материалов [1—4]. <...> Выделение газообразных продуктов реакций активных частиц с полимерами изменяет состав плазмы и, как следствие, ее физические параметры. <...> В результате должны изменяться как скорости образования активных частиц, так и скорости гетерогенных реакций. <...> E-mail: titov25@gmail.com Статья поступила в редакцию 13 июля 2016 г. © Смирнов С. А., Титов В. А., Шикова Т. Г., Овцын А. А., Кадников Д. В., 2016 обратных связей» между гетерогенными плазмохимическими <...>