Установлено, что сила веса и нелинейность системы приводят к появлению максимумов на зависимостях глубины модуляции емкости и относительного диапазона контролируемого изменения емкости от силы веса. <...> Получены аналитические выражения, позволяющие оценить оптимальные значения коэффициента нелинейности, при которых глубина модуляции емкости и относительный диапазон контролируемого изменения емкости принимают максимальные значения. <...> Показано, что за счет оптимального использования силы веса подвижного электрода в МЭМС с нелинейной зависимостью возвращающей силы от величины смещения подвижного электрода глубина модуляции емкости и относительный диапазон контролируемого изменения емкости могут быть увеличены в несколько раз по сравнению с МЭМС с линейной зависимостью возвращающей силы. статическое равновесие, диапазон контролируемого изменения емкости. <...> DOI: 10.17212/1727-2769-2015-3-50-60 Введение При разработке и создании ряда микроэлектромеханических систем (МЭМС) таких как геофоны, микроэлектромеханические преобразователи энергии механических колебаний в электрическую энергию, различные инерциальные системы, работающих при ускорениях 0 , часто не превышающих нескольких g ( g – ускорение свободного падения), возникает необходимость учета собственного веса 0F движущихся частей системы. <...> В работе [1] в линейном приближении для возвращающей силы упругих элементов показано, что у двухэлектродной электромеханической системы с изменяющимся межэлектродным зазором учет силы веса сводится заменой переменной x на * (/ )x xF k (где k – коэффициент квазиупругой силы) к анализу аналогичной системы с невесомым подвижным электродом, т. е. в линейном приближении учет силы веса в этом случае сводится лишь к смещению начала отсчета в точку * x /Fk. <...> 0 © 2015 В.П. Драгунов, Л.С. Драгунова двухэлектродных МЭМС с изменяющимся межэлектродным зазором с учетом веса подвижного электрода и электромеханических взаимодействий <...>