танавливаются на транспортере объектодержателях 5 Б.В. Артемьев и др. <...> «Неразрушающий контроль и техническая диагностика в промышленности» . в l -координатном магистральном -координатных виброзащитных и транспортируются в камеру выращивания полупроводниковых структур методом молекулярно-лучевой эпитаксии. <...> Ориентация пластин внутри камеры l Кроме того, наряду с процессом выращивания в камере фонового легирования в камере нитным секторным анализатором l точником Фримана 7 ботки ионным пучком с ионно-оптической колонной 7 11 и жидкометаллическим источником ионов используется для прямого легирования локальных областей полупроводников. <...> Отдельная камера 9 10 12 прецизионного столика 13 проводят посредством . -координатного прецизион. <...> В целях повышения разре14 , , и -координатного Обработанные пластины поступают в аналитическую камеру 12 шающей способности аналитических методов камера связаны между собой транспортной магистралью с -координатным магистральным транспортером 15 лирующей платформе l . <...> Камеры 16 темы метрологической навигации 16 l 19 Точность позиционирования манипуляторов l 17 , контролируют с помощью -координатной сис18 3 7 9 12 ния магистральным комплексом обработки полу- l 4 8 . <...> Внутри камеры пластины перемещаются с помощью ного манипулятора 15 , служащую для всестороннего l установлена на -координатной виброизо, . и 15 -координатного прецизионного манипулятора в комплексе предусмотрена возможность и ионным ис6 проиcходит с помощью 7. , снабженной маг8 обраБиблиографический список 1. <...> Устройство для определения положения тела в пространстве (его варианты) / А.Т. Александрова, Е.Н. Ивашов, А.Ш. Колискор и др. <...> № 2. проводниковых структур в замкнутом цикле используют управляющий промышленный компьютерный блок -координатные контрольно-навигационные системы могут широко применяться для определения текущих положений исполнительных устройств относительно общей базы гибких автоматизированных производств <...>