Multifunctional system for the production of microelectronic components and computer cathode-ray optics V. A. Vasin, B. N. Vasichev, S. V. Stepanchikov, N. G. Fatjanova Moscow State Institute of Electronics and Mathematics, 3 B. Trekhsvyatitelsky Lane, Moscow, 109028, Russia The advantages and different possibilities of designing and developing multi multibeam electronbeam equipment brought by without defects, with low radiation exposure to the object to be processed in the manufacture of microelectronic devices, and computer cathode-ray optics and system integrators devices. <...> PACS: 07.30.Cy Keywords: miniaturization of electron-beam equipment, multibeam system, multifunctional system, the radiation load, miniature vacuum pump assembly, coordinate table, introduced by defects. <...> Рассмотрены преимущества и различные возможности проектирования и разработки многофункционального многопучкового электронно-лучевого оборудования бел привносимой дефектности, с низкими радиационными нагрузками на обрабатываемый объект при производстве изделий микроэлектроники, компьютерной электронно-лучевой оптики и системотехнических устройств! <...>