Системы автоматизированной сварки серии Gemini Постоянно растущий спрос на высокоэффективные и компактные устройства требует миниатюризации микроэлектронных компонентов. <...> В связи с этим увеличивается потребность создания высокоинтегрированных систем, в том числе с использованием технологии трехмерной интеграции. <...> Данная технология широко применяется при производстве полупроводниковой памяти, КМОП-матриц, размещении памяти на модулях логики. <...> Ключевой технологической операцией при изготовлении высокоинтегрированных систем, а также МЭМС является сварка пластин. <...> В статье рассмотрены ключевые особенности модульной системы автоматизированной сварки пластин EVG Gemini, позволяющей изготавливать устройства с высокой степенью интеграции. <...> Илья Нотин micro@ostec-group.ru О компании EVG Компания EVG является признанным лидером в области технологических решений для фотолитографии, наноимпринтной литографии, а также сварки пластин, широко применяемых в различных областях микроэлектроники, таких как МЭМС, сварка пластин, сварка отдельных кристаллов с пластинами, трехмерная интеграция. <...> Системы компании EVG используются не только для опытно-конструкторских работ и пилотных линий, но и для массовых производств. <...> Разработанные компанией технологии сварки стали стандартом в области производства МЭМС. <...> Система совмещения SmartView, встроенная в полностью автоматизированный комплекс Gemini, позволяет выполнять совмещение с субмикронной точностью. <...> Сегодня компания EVG применяет накопленный в данной области опыт для разработки полностью автоматизированных систем сварки для изготовления высокоэффективных систем с трехмерной интеграцией. <...> Модульные системы автоматизированной сварки серии Gemini Установки сварки серии 500 от компании EVG (рис. <...> 1) позволяют осуществлять широкий ряд операций сварки как с промежуточным слоем (эвтектика, полимеры, стеклоприпой и др.), так и без него (прямая или анодная сварка), однако пластины зачастую <...>