Выбор правильного решения В профессиональных обсуждениях часто поднимают тему плазмы как современного инструмента высокотехнологичных производств, позволяющего существенно улучшать характеристики выпускаемых изделий. <...> Какие виды плазмы существуют, чем они различаются и какие из них лучше подходят для того или иного применения? <...> Плазма — частично или полностью ионизированный газ (аргон, кислород, азот, водород или другие), то есть газ, состоящий из нейтральных атомов или молекул и заряженных частиц, ионов и электронов. <...> По сравнению с обычным газом основное преимущество плазмы заключается в том, что благодаря наличию свободных мест на внешних электронных оболочках атомы/молекулы плазмы химически более активны. <...> Именно эта особенность позволяет им столь эффективно взаимодействовать с частицами других материалов. <...> Для ионизации газа необходимо передать ему энергию, а для этого существует множество способов, таких как нагрев и облучение. <...> Но наиболее распространен способ получения плазмы с помощью электрического газового разряда. <...> Газовый разряд представляет собой газовый промежуток, к которому приложена разность потенциалов. <...> В промежутке образуются заряженные частицы, движущиеся в электрическом поле, создавая ток (рис. <...> Есть несколько видов газового разряда: искровой, Т дуговой и тлеющий. <...> Все они нашли то или иное применение в современной технике, но наибольшее распространение получил тлеющий разряд. <...> Всем знакомые светящиеся рекламные колбы, лампы дневного света, покрытые изнутри люминофорами сложного состава, представляют собой многочисленные варианты применения плазмы тлеющего разряда. ермин «плазма» знаком многим, любим писателями-фантастами и режиссерами блокбастеров, но что же в действительности кроется Все установки плазменной обработки поверхности в микроэлектронике также используют тлеющий разряд (рис. <...> Для получения тлеющего газового разряда необходим газ, герметичная <...>