Прикладная физика № 2, 2012 УДК 537.534.3; 621.3.038.615 Динамическая фокусировка квадрупольной линзовой системы для управления субмикронным ионным зондом при электростатическом сканировании К. И. Мельник В современных ионных микрозондах фокусировка осуществляется системами сильнодействующих квадрупольных магнитных линз, крайне чувствительными к углам входа пучка. <...> Совместное влияние линз и электростатического сканера, расположенного между линзами, приводит к значительному уширению пучка в процессе сканирования за счет аберраций и выхода пучка из фокуса. <...> Показано, в какой степени это уширение может быть компенсировано за счет динамической фокусировки линзовой системы при сканировании. <...> Lc, 07.78.+s Ключевые слова: зондоформирующая система, электростатическая сканирующая система, квадрупольная линза, динамическая фокусировка. <...> Введение Чтобы сформировать ионный пучок с энергией в несколько МэВ (обычно 1–10) в зонд субмикронных размеров используют сложные квадрупольные зондоформирующие системы (ЗФС). <...> 1, 2), ограничивающих фазовый объем пучка на входе ЗФС, 2–6 магнитных квадрупольных линз (МКЛ, поз. <...> 3), распределенных вдоль оптического тракта, и сканирующей системы, производящей финальную фокусировку (поз. <...> 4, 5). кроссоверов пучка, минимизации аберраций и точной юстировки оптических элементов. <...> Локальный анализ в точке с такими малыми размерами лишен смысла, поэтому в систему вводится дополнительный элемент — сканирующая система, магнитная или электростатическая. <...> Она является дополнительным источником возмущений, что разбалансирует процесс формирования зонда и приводит к уширению зонда в точках растра, удаленных от оптической оси. <...> Схема ионного микрозонда с электростатической сканирующей системой. <...> Направление движения пучка показано стрелкой: 1 — объектный коллиматор; 2 — угловой коллиматор; 3 — магнитная квадрупольная линза (МКЛ); 4 — дефлектор в вертикальной плоскости; 5 — дефлектор в горизонтальной <...>