36 УДК 600:699 Исследование процесса ионно-лучевой полировки поверхности оптических деталей приборов Н. Н. Андрианова, А. М. Борисов, В. В. Боровская, Е. С. Машкова Представлены результаты экспериментального исследования процесса ионно-лучевой обработки с целью полировки поверхности оптического ситалла. <...> Облучение образцов проводили ионами Ar+ с энергиями 10—30 кэВ. <...> Топографию поверхности исследовали с помощью зондового микроскопа FemtoScan. <...> Показано, что азимутальное вращение облучаемого образца подавляет развитие волнообразного рельефа и дает эффект полировки — шероховатость поверхности уменьшается от исходного уровня Ra ~ 1 нм до 0,5 нм. <...> Введение Ряд современных технологий обработки поверхностей материалов основан на применении ионно-лучевых методов, основным механизмом которых является распыление обрабатываемой поверхности [1]. <...> Формирование морфологии поверхности и ее эволюции при ионном облучении было и остается предметом интенсивных экспериментальных и теоретических исследований [1—4]. <...> Отметим, что почти для всех материалов обнаружены ситуации, когда на поверхности образуется наноразмерный волнообразный рельеф [4, 5]. <...> Аналогичных данных, относящихся к оптическим материалам, опубликовано не слишком много. <...> Тем не менее, в ряде работ изучали и обсуждали возможность уменьшения шероховатости и полировки поверхности оптических материалов (кварца и стекол) с помощью ионной бомбардировки [6, 7]. <...> Интенсивно обсуждаются и возможные механизмы формирования топографии поверхности и полировки в процессе ионной бомбардировки, роль таких параметров как энергия ионов, угол падения ионов на мишень, флюенс облучения, температура облучения, вращение образца [7]. <...> Цель данной работы — исследование процесса полировки поверхности при оптического Андрианова Наталья Николаевна, научный сотрудник. <...> E-mail: andrianova_nn@mail.ru Статья поступила в редакцию 22 сентября 2011 г. © Андрианова Н. Н., Борисов А. М., Боровская В. В., Машкова <...>