Прикладная физика № 2, 2012 УДК 537.533.35:53.072 Новый способ расчета матричных поправок в рентгеноспектральном микроанализе Н. Н. Михеев, М. А. Степович, Е. В. Широкова Представлен метод расчета поправки на поглощение рентгеновского характеристического излучения при количественном рентгеноспектральном микроанализе, основанный на новом методе расчета функции распределения по глубине рентгеновского характеристического излучении φ(ρz). <...> Dn Ключевые слова: количественный рентгеноспектральный микроанализ, матричные поправки, характеристическое рентгеновское излучение. <...> Введение Современные электронно-зондовые микроанализаторы комплектуются фирменным программным обеспечением, в которое входит программа для учета матричных эффектов. <...> Учет матричных эффектов, применяемый для коррекции неисправленных содержаний, выражается в виде ряда независимых факторов: поправкой на поглощение рентгеновского излучения, поправкой на торможение и на обратное рассеяние электронов, а также поправкой на флуоресценцию. <...> Если по отношению к нахождению последней поправки на сегодняшний день особых разногласий нет, то по отношению первых трех приемлемое согласие отсутствует. <...> В большинстве случаев, наибольшая коррекция требуется для анализа эффекта поглощения рентгеновского характеристического излучения. <...> Большинство из них основано на представлении о функции φ(ρz) — распределении возбужденного рентгеновского характеристического излучения по массовой толщине образца. <...> К ним можно отнести модели, Михеев Николай Николаевич, ведущий научный сотрудник. <...> Е-mail: m.stepovich@mail.ru Статья поступила в редакцию 22 сентября 2011 г. © Михеев Н. Н., Степович М. А., Широкова Е. В., 2012 31 предложенные Лавом-Скоттом [1], Данкабом [2, 3], Пушо и Пишуаром [4, 5], Габера [6] и др., а также группу методов, в которых функция распределения аппроксимирована кривой Гаусса. <...> В большинстве случаев программное обеспечение микроанализаторов содержат программы, объединяющие <...>