Прикладная физика, 2013, № 6 УДК 621.315.5 Исследование действия мягкого рентгеновского излучения на поверхность твердых растворов Сdx методами атомной силовой микроскопии В.Г. Средин, О.Б. Ананьин, И.Д. Бурлаков, А.Е. Мирофянченко, А.П.Мелехов, И.К. Новиков Представлены результаты воздействия импульсного мягкого рентгеновского излучения лазерной плазмы на морфологию поверхности твердых растворов эпитаксиальных слоев Cdx и шероховатости. <...> Введение К мягкому рентгеновскому излучению (МРИ) относят излучение с длиной волны от 0,1 до 10 нм (энергия кванта 0,1–12,4 кэВ). <...> Так как излучение указанного диапазона характеризуется высокими значениями линейного коэффициента поглощения, а также не приводит к непосредственной генерации точечных дефектов в кристаллах, оно перспективно в качестве средства для модификации свойств тонких поверхностных слоев материалов кристаллической и некристаллической природы, например, для травления поверхности. <...> Подобные операции могут представлять определенный интерес как в эпитаксиальных технологиях выращивания многослойных структур, включая квантово-размерные, так и в технологиях изготовления твердотельных матричных фотоприемных устройств нового поколения [1]. <...> Средин Виктор Геннадьевич, профессор, заведущий кафедрой 1.4 Ананьин Олег Борисович, профессор, заведующий кафедрой 2,4 , . <...> Вернадского, 78 Статья поступила в редакцию 20 ноября 2013 г. © Средин В.Г., Ананьин О.Б., Бурлаков И.Д., Мирофянченко А.Е., Мелехов А.П., Новиков И.К., 2013 Одним из естественных источников МРИ является Солнце, и солнечное МРИ представляет собой постоянно действующий фактор в околоземном космосе. <...> Кванты МРИ возникают также в процессах релаксации электронов при возбуждении внутренних оболочек атомов. <...> Существующие в настоящее время лабораторные источники МРИ, включая источники синхротронного излучения, позволяют получать потоки с плотностью мощности до 102 Вт/см 2 , что может оказаться недостаточным для решения <...>