621.383.4/5 Метод измерения квантовой эффективности и темнового тока в матричных ФПУ А.И. <...> Патрашин, И.Д. Бурлаков, К.О. Болтарь, М.Д. Корнеева, А.А. Лопухин, А.В. Никонов, И.И. Таубкин, Н.И. Яковлева Разработан новый метод определения квантовой эффективности и темнового тока фоточувствительных элементов матричных ФПУ. <...> Метод основан на экспериментально опробованной аналитической модели этих устройств, позволяющей рассчитывать все их параметры, в том числе сигнал и шум приборов. <...> Метод опробован и позволяет получить полный массив величин этих важнейших характеристик в матрицах фоточувствительных элементов. <...> Метод позволяет быстро определить значения средней квантовой эффективности и темнового тока каждого фоточувствительного элемента матрицы и экспрессно квалифицировать качество приборов. <...> Ba Ключевые слова: МФПУ, сигнал, шум, температура фона, время накопления Введение Матричные фотоприемные устройства (МФПУ) являются сложными высокотехнологичными устройствами [1, 2]. <...> Они включают матрицу фоточувствительных элементов (МФЧЭ), содержащую, примерно, от 1000 фотодиодов (формат 4Ч288) [3] до более чем 1000000 фотодиодов (формат 1280Ч1024) [4], состыкованную поэлементно с интегральным кремниевым мультиплексором, и работают во всех диапазонах спектра, а именно, от 0,25 мкм до более чем 50 мкм. <...> Накопление фототоков ФЧЭ в ячейках, поэлементное считывание накопленных зарядов, преобразование их в напряжение, предварительное усиление и вывод Бурлаков Игорь Дмитриевич, зам. генерального директора 1 Патрашин Александр Иванович, вед. научн. сотруд. <...> Болтарь Константин Олегович, начальник НТК1 , профессор 3 , профессор 3 Корнеева Марина Дамировна, 1-й зам. генерального директора 1 Лопухин Алексей Алексеевич, вед. научн. сотрудник 1 Никонов Антон Викторович, инженер 2-й категории. <...> Россия, 141700, Московская обл., г. Долгопрудный, Институтский пер., 9 Статья поступила в редакцию 20 ноября 2013 г. © Патрашин А.И., Бурлаков И.Д., Болтарь К.О., Корнеева <...>