Прикладная физика, 2013, № 5 УДК 621.315.592 Нестационарная фотопроводимость пористого кремния Л.С. Монастырский, Б.С. Соколовский, М.Р. Павлык, Е.И. Аксиментьева Представлена и численно исследована модель релаксации фотопроводимости пористого кремния, в которой учитывается рекомбинация фотоносителей на поверхности цилиндрических пор при синусоидально модулированном потоке света. <...> Методом конечных элементов рассчитана частотная зависимость фотопроводимости пористого кремния и зависимость частоты модуляции света, при которой переменная составляющая фотопроводимости уменьшается вдвое при увеличении скорости поверхностной рекомбинации, а также при изменении радиуса пор и среднего расстояния между ними. <...> Для обеспечения контроля таких объектов разрабатываются микроэлектронные системы детектирования состава воздуха и воды. <...> На основе полупроводниковых химических сенсоров уже разработаны системы обнаружения природного газа в жилых помещениях и выбросов метана в шахтах, качества некоторых продуктов питания, степени сгорания топлива и выброса СО двигателями автомобилей, запахов алкоголя Монастырский Любомир Степанович, доцент. <...> E-mail: monastyrsky@electronics.wups.lviv.ua Статья поступила в редакцию 20 сентября 2013 г. © Монастырский Л.С., Соколовский Б.С., Павлык М.Р., Аксиментьева Е.И., 2013 и других веществ. <...> Актуальными сегодня являются химические сенсоры на нанокристаллических полупроводниках, в частности, на пористом кремнии (ПК) [1–5]. <...> Известно, что существенное влияние на люминесцентные и оптические свойства пористого кремния оказывает газовая среда, что стимулирует роботы по созданию современных фоточувствительных систем детектирования. <...> В отличие от обычных полупроводников, пористый кремний объединяет в себе уникальную комбинацию кристаллической структуры и гигантской внешней поверхности (200─500 м 2 /см 3 ), что может значительно усилить эффекты адсорбции. <...> Кроме того, поверхность ПК может селективно изменять <...>