70 УДК 621.383.4/5 Кристаллографический анализ гетероэпитаксиальных структур теллурида кадмия-ртути А. Л. Сизов, А. Е. Мирофянченко, А. В. Ляликов, Н. И. Яковлева Для кристаллографического анализа гетероэпитаксиальных структур теллурида кадмия-ртути использованы высокоточные методы микроскопии высокого разрешения, рентгеновской дифрактометрии, энергодисперсионного и микрорентгеновского анализа. <...> Определены значения углов Брэгговского отражения, которые составили 47,1—47,5 градуса, и полуширины кривой качания, которая по измеренным образцам составила 74˝. <...> Dw Ключевые слова: гетероэпитаксиальная структура, ГЭС, теллурид кадмия-ртути, КРТ, CdHgTe, инфракрасный, микроскопия высокого разрешения, рентгеноструктурный анализ. <...> Введение Необходимость уменьшения дефектов в гетероэпитаксиальных структурах тройного соединения кадмий-ртуть-теллур (КРТ) в процессе выращивания на гомо- и гетероподложках [1, 2], создание радиационно стойких и термостойких матричных фотоприемных устройств на основе ГЭС КРТ второго и третьего поколения [3—5], ужесточение требований к их частотным характеристикам привело к необходимости использования для контроля структурного совершенства ряда высокоточных наукоемких методов контроля, таких как микроскопия высокого разрешения [6] и рентгеновская дифрактометрия (РД) [7]. <...> Данные методы в настоящее время широко используются как в исследовательских целях, так и при решении производственных задач. <...> Как правило, расшифровка кристаллической структуры проводится по рентгенограммам монокристаллов или по картинам дифракционного отражения. <...> E-mail: orion@orion-ir.ru Статья поступила в редакцию 29 сентября 2014 г. © Сизов А. Л., Мирофянченко А. Е., Ляликов А. В., Яковлева Н. И., 2014 На сегодняшний день в России активно используются три основных метода эпитаксии КРТ: жидкофазная эпитаксия (ЖФЭ), молекулярнолучевая эпитаксия (МЛЭ) и мосгидридная эпитаксия (МОСГЭ). <...> Наиболее развитыми методами являются ЖФЭ и МЛЭ <...>