24 Прикладная физика, 2014, № 6 Физика плазмы и плазменные методы УДК 537.527.9 Исследование воздействия диэлектрического барьерного разряда на кремнийсодержащую плёнку В. В. Андреев В работе исследованы микроструктура и элементный состав нанесённой на поверхность текстолита плёнки в окрестности точки его электрического пробоя. <...> Цель исследования связана с необходимостью разработки новых диэлектрических материалов, способных противостоять разрушительному воздействию электрического поля, микроразрядов, а также озона, являющегося очень активным элементом, в разрядной ячейке диэлектрического барьерного разряда в воздухе при атмосферном давлении. <...> Tn Ключевые слова: диэлектрический барьерный разряд, микроразряд, плазмохимический генератор, поверхностная плёнка, кремнийсодержащая плёнка. <...> Введение Исследование воздействия в ячейке диэлектрического барьерного разряда электрического поля, микроразрядов, а также озона, являющегося очень активным элементом, на диэлектрический барьер представляет значительный интерес при разработке плазмохимических генераторов озона. <...> Это связано с тем, что производительность по озону плазмохимического генератора и его долговечность во многом определяются физико-химическими и электрофизическими характеристиками барьера [1—3]. <...> В работе исследованы микроструктура и элементный состав нанесённой на поверхность текстолита плёнки в окрестности точки его электрического пробоя с целью нахождения путей разработки новых диэлектрических материалов, способных противостоять разрушительному воздействию электрического поля, микроразрядов, а также озона. <...> E-mail: andreev_vsevolod@mail.ru Статья поступила в редакцию 20 октября 2014 г. © Андреев В. В., 2014 Постановка работы В работе воздействию микроразрядов в ячейке диэлектрического барьерного разряда (рис. <...> Схематическое изображение ячейки диэлектрического барьерного разряда: 1 — плоские металлические электроды пластинчатой <...>