Прикладная физика, 2014, № 5 19 Физика плазмы и плазменные методы УДК 533.9.082.5, 538.958 Исследование состава и динамики плотности пылевых частиц, образованных при распылении мишени из Ba(0,8)Sr(0,2)TiO3 в кислородном высокочастотном разряде П. С. Пляка, С. Х. Алихаджиев, Г. Н. Толмачев Исследованы наночастицы, образовавшиеся в плазме емкостного высокочастотного разряда при распылении керамической мишени титаната бария-стронция в среде кислорода. <...> В полученных спектрах комбинационного рассеяния наблюдаются как линии исходного сложного оксида, так и линии простых оксидов. <...> Приведены временные зависимости концентрации пыли в потенциальной ловушке, проанализирована динамика изменений. <...> Сделанные оценки скорости движения пылевых частиц в разрядной камере согласуются с экспериментальными результатами. <...> Bf; Ключевые слова: емкостной высокочастотный разряд, сложный оксид, наночастицы, пылевая плазма, движение заряженных частиц. <...> Введение В технологии напыления тонких сегнетоэлектрических пленок с применением емкостного высокочастотного разряда пылевая компонента плазмы занимает важное звено. <...> Именно благодаря переносу материала распыляемой керамической мишени в виде крупных фрагментов удается получать пленки с сохраненной стехиометрией [1] в неоднородной области кислородного разряда. <...> При отдалении подложечного блока от мишени вблизи границы слоя пространственного заряда (СПЗ) образуется потенциальная ловушка, в которой накапливаются пылевые частицы, хорошо рассеивающие лазерное излучение [2, 3]. <...> Ранее было установлено, что время формирования такого пылевого скопления и его плотность сильноизПляка Павел Стефанович, научный сотрудник. <...> E-mail: Said366502@mail.ru Статья поступила в редакцию 18 сентября 2014 г. © Пляка П. С., Алихаджиев С. Х., Толмачев Г. Н., 2014 менчивы и зависят не только от параметров разряда [3], но и от ряда неизвестных факторов [4], возможно, связанных со структурой распыляемой мишени и плазмохимическими реакциями <...>