Прикладная физика, 2014, № 4 УДК 621.315.592 Влияние плазмохимического травления и последующего отжига на электрофизические свойства CdHgTe Б. А. <...> Костюк, В. С. Варавин, И. О. Парм, В. Г. Ремесник, Г. Ю. Сидоров Исследовано влияние плазмохимического травления в плазме Ar/H2 и последующей выдержки при разных температурах на электрофизические свойства пленок CdxHg1-xTe c x ≈ 0,2, выращенных на подложках из GaAs (013). <...> Установлено, что после плазмохимического травления концентрация электронов увеличивается до ~1017 см-3, а также происходит релаксация концентрации с течением времени. <...> На основе модели с образованием комплексов между междоузельными атомами ртути и структурными дефектами кристалла проведено численное моделирование кривых релаксации при разных температурах. <...> Dz Ключевые слова: плазмохимическое травление, CdHgTe, спектр подвижности, QMSA, атомы междоузельной ртути. <...> Введение Пленки CdxHg1-xTe в настоящее время находят широкое применение в производстве ИК-фотоприемников, работающих в диапазоне длин волн от 1 до 20 мкм. <...> При изготовлении большеформатных линеек и матриц разделение фоточувствительных элементов часто осуществляется с помощью вытравливания мезаструктур. <...> В двуцветных приемниках существует проблема изготовления контактов к фоточувствительным элементам каждого диапазона. <...> Она решается протравливанием контактных областей к слоям CdxHg1-xTe заданного состава. <...> Травление на глубину до 10 мкм при размерах фоточувствительного элемента структуры 15— 20 мкм возможно только при условии анизотропного процесса травления с преимущественным травлением в глубину. <...> На сегодняшний день наиболее широко используется плазмохимическое травление (ПХТ) [1]. <...> Однако ПХТ ведет к образованию дефектного приповерхностного слоя и повышению конценКостюк Богдан Андреевич, инженер. <...> E-mail: kostyuk93work@gmail.com; varavin@isp.nsc.ru Статья поступила в редакцию 10 августа 2014 г. © Костюк Б. А., Варавин В. С., Парм И. О., Ремесник В. Г., Сидоров Г. Ю., 2014 трации доноров в объеме <...>