80 УДК 621.315.592 Исследование шероховатости поверхности подложек CdZnTe различными методами измерения нанометровой точности И. Д. Бурлаков, И. А. Денисов, А. Л. Сизов, А. А. Силина, Н. А. Смирнова Проведено сравнение результатов измерений среднеквадратичного отклонения профиля шероховатости (rms) поверхности подложек CdZnTe методами конфокальной микроскопии (КМ), атомно-силовой микроскопии (АСМ) и рентгеновской рефлектометрии (РР). <...> Установлено, что метод КМ дает большие значения rms, метод АСМ занимает промежуточное положение, а РР дает значения на порядок меньшие остальных двух методов. <...> Показано, что значения rms существенно различаются в КМ при использовании разных объективов. <...> Введение Твердые тройные растворы Cd1-yZnyTe широко используются в качестве оптически прозрачных подложек при выращивании эпитаксиальных слоев (ЭС) тройных твердых растворов CdxHg1-xTe, являющихся основным материалом для производства фотоэлектронных устройств инфракрасного (ИК) диапазона спектра [1—3]. <...> В эпитаксиальных технологиях предъявляются жесткие требования к состоянию и качеству обработки поверхности подложек, морфология которых во многом определяет механизмы роста эпитаксиальных слоев на начальных стадиях и условия формирования дефектов структуры [4]. <...> Необходимость контроля параметров шероховатости поверхности требует использования современных средств измерений, обладающих высокой точностью, воспроизводимостью и чувствительностью к микро- и нанонеоднородностям рельефа [5]. <...> Статья поступила в редакцию 12 августа 2014 г. © Бурлаков И. Д., Сизов А. Л., Денисов И. А., Смирнова Н. А., Силина А. А., 2014 В настоящее время существует большое количество разнообразных средств измерения шероховатости поверхности, имеющих различные вариации и программные обеспечения. <...> При этом при характеризации поверхности различными по физическому принципу средствами измерений могут наблюдаться расхождения в измеряемых параметрах морфологии поверхности <...>