Прикладная физика, 2015, № 1 УДК 621.315.5:621.3.049.77 Модифицированная топология индиевых микроконтактов В. М. Акимов, К. О. Болтарь, Л. А. Васильева, С. С. Демидов, Н. А. Иродов, Е. А. Климанов При гибридизации кристаллов БИС считывания и матрицы фоточувствительных элементов (МФЧЭ) методом перевернутого монтажа используются индиевые микроконтакты, создаваемые на обоих кристаллах. <...> В статье рассмотрена модифицированная топология индиевых микроконтактов, позволяющая повысить надежность гибридизации кристаллов. <...> Проведены первые стыковки индиевых микроконтактов предложенной топологии, представлены фотографии расстыкованных образцов. <...> PACS: 85.60.-q Ключевые слова: матричные фоточувствительные элементы, МФЧЭ, БИС, индиевые микроконтакты, гибридизация, стыковка, метод перевернутого монтажа. <...> Введение Обычно индиевые микроконтакты при гибридизации кристаллов БИС считывания и МФЧЭ методом перевернутого монтажа выполняются в виде квадратных или круглых контактов, причем с практически одинаковыми геометрическими размерами для обоих кристаллов 1—2. <...> Однако во время гибридизации таких микроконтактов возможно закорачивание микроконтактов одного кристалла микроконтактами другого даже при небольшой погрешности их совмещения (рис. <...> Закорачивание индиевых микроконтактов происходит уже при погрешности совмещения более величины зазора между микроконтактами на кристалле, что обычно составляет 3—10 мкм при шаге микроконтактов 10—35 мкм. <...> Климанов Евгений Алексеевич, гл. научный сотрудник1, ширения материалов состыкованных кристаллов. <...> В этом случае либо все ФЧЭ матрицы оказываются соединенными между собой, либо только вдоль строк или столбцов матрицы. <...> 2 — микроконтакт МФЧЭ Снизить вероятность закорачивания индиевых микроконтактов квадратной или круглой формы можно лишь при уменьшении их площади. <...> Статья поступила в редакцию 5 декабря 2014 г. © Акимов В. М., Болтарь К. О., Васильева Л. А., Демидов С. С., Иродов Н. А., Климанов <...>