Прикладная физика, 2015, № 1 35 Электронные, ионные и лазерные пучки УДК 537.533 Формирование ленточного электронного пучка форвакуумным плазменным источником электронов А. С. Климов, В. А. Бурдовицин, А. А. Гришков, Е. М. Окс, А. А. Зенин, Ю. Г. Юшков Представлены результаты численного анализа и экспериментальных исследований по формированию форвакуумным плазменным источником электронов непрерывного ленточного пучка. <...> Определена оптимальная геометрия электродов ускоряющей системы электронного источника, обеспечившая формирование слаборасходящегося ленточного электронного пучка в отсутствие продольного магнитного поля и специальной фокусирующей системы. <...> Tb Ключевые слова: плазменный источник электронов, форвакуумная область давлений, ленточный электронный пучок, транспортировка электронного пучка, электростатическая фокусировка. <...> Введение В форвакуумной области давлений, генериНепрерывные электронные пучки ленточной конфигурации, создаваемые устройствами на основе разрядных систем с плазменным катодом, привлекательны для инициирования реакций окисления и азотирования, а также в плазмохимии органических и неорганических соединений [1]. <...> Расширение рабочего диапазона давлений плазменных источников электронов в так называемую форвакуумную область (1—100 Па) обеспечило возможность непосредственной электронно-лучевой обработки диэлектриков [2]. <...> При обработке диэлектрических, в частности, керамических материалов, ленточный пучок позволяет проводить обработку большой площади керамики — материала, чувствительного к перепаду температур. <...> Статья поступила в редакцию 10 декабря 2014 г. © Климов А. С., Бурдовицин В. А., Гришков А. А., Окс Е. М., Зенин А. А., Юшков Ю. Г., 2015 руемые плазменными источниками электронные пучки, как правило, имеют энергии уровня 10 кэВ. <...> Такие относительно низкие энергии электронов обуславливают заметное расширение пучка по мере его распространения. <...> Проблема может быть решена <...>