30 УДК 537.52 Пространственное распределение параметров электронной компоненты азотной плазмы электродного микроволнового разряда при пониженных давлениях Ю. А. Лебедев, Г. В. Крашевская, М. А. Гоголева Метод двойного электрического зонда использован для измерения пространственных распределений концентрации заряженных частиц, температуры электронов и постоянного потенциала в электродном микроволновом разряде в азоте при давлении 1 Торр. <...> Показано, что вблизи электрода/антенны концентрация заряженных частиц превышает критическое значение. <...> Концентрация и неоднородность разряда растут с увеличением микроволновой мощности. <...> Ds Ключевые слова: микроволновая плазма, микроволновый разряд, зондовая диагностика, неравновесная плазма, микроволновая антенна. <...> Введение Электродный микроволновый разряд — это разряд, создаваемый в окрестности конца электрода/антенны в камере, размеры которой превышают размеры светящейся области разряда. <...> Интерес к исследованию электродного микроволнового разряда (ЭМР) [1—3] вызван рядом причин. <...> Вопервых, ЭМР является представителем сильно неоднородных разрядов и важным является изучение влияния неоднородности плазмы на физикохимические процессы, а также влияния различных факторов на процесс в нем. <...> Кроме того, основной энерговклад в разряд осуществляется вблизи электрода/антенны, т. е плазма создается вблизи поверхности. <...> Исследование такого разряда дает возможность изыскания новых методов управления параметрами плазмы. <...> E-mail: krashevskaya-gv@mail.ru Статья поступила в редакцию 15 января 2015 г. © Лебедев Ю. А., Крашевская Г. В., Гоголева М. А., 2015 Прикладная физика, 2015, № 1 тинометрии плазмы, влияют на свойства ЭМР [4, 5]. <...> В работе [6] было показано, что ЭМР может быть использован в качестве плазменного катода, поэтому возникает необходимость исследования его характеристик в присутствии внешнего постоянного электрического поля. <...> Ранее методом эмиссионной спектроскопии были проведены <...>