74 УДК 621.315.5 Исследование индиевых столбчатых контактов при помощи электронной микроскопии С. В. Головин, Ю. С. Мезин, М. В. Седнев, А. И. Еремчук, М. Д. Корнеева Исследованы индиевые столбчатые микроконтакты для гибридных матричных фотоприемных устройств (МФПУ) инфракрасного диапазона, состоящих из матрицы фоточувствительных элементов и кремниевого мультиплексора, состыкованных между собой. <...> Показано, что индиевые столбики высотой 12 микрометров и более могут быть получены посредством последовательного проведения стандартных операций фотолитографии и химического травления, имеют шероховатость порядка 1 мкм и могут использоваться для операции стыковки в процессе изготовления МФПУ. <...> Введение Матричные фотоприемные устройства (МФПУ) ИК-диапазона находят широкое применение в различной технике и оборудовании гражданского и военного назначения. <...> В состав МФПУ, представляющего собой гибридную микросхему, входят матрица фоточувствительных элементов (МФЧЭ), в которой проходит поглощение ИК-излучения и формирование сигнальных фототоков для каждого чувствительного элемента матрицы, а также кремниевый мультиплексор, который осуществляет считывание и обработку сигнала. <...> В настоящее время не существует иного способа гибридизации этих узлов кроме стыковки посредством столбиков, когда каждый пиксель соединяется с ячейкой мультиплексора через индиевый столбчатый микроконтакт (т. н. flip-chip) [1—5]. <...> Выбор индия связан с тем, что этот металл технологичен, с ним легко работать, он сохраняет пластичность вплоть до гелиевых температур и хорошо соединяется холодной сваркой при комнатной температуре. <...> Статья поступила в редакцию 27 ноября 2015 г. © Головин С. В., Мезин Ю. С., Седнев М. В., Еремчук А. И., Корнеева М. Д., 2015 Головин Сергей Вадимович, старший научный сотрудник1. <...> Корнеева Марина Дамировна, зам. генерального директора, Прикладная физика, 2015, № 6 Для эффективной работы МФПУ ИК-диапазона требуется охлаждение <...>