УДК 531.383:534.014.2.01:519.6 П.В. Максимов, Н.А. Труфанов ЧИСЛЕННОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ДЕФЕКТА УПРУГОГО ПОДВЕСА НА ДИНАМИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО ГИРОСКОПА Решается задача о вынужденном движении чувствительного элемента микромеханического гироскопа (ММГ). <...> Исследуются динамические характеристики ММГ, определяются собственные частоты и формы колебаний построенной конечно-элементной модели. <...> Исследуется влияние избыточной крутильной жесткости одного из торсионов упругого подвеса на вынужденное движение чувствительного элемента ММГ. <...> Изменение жесткостных характеристик дефектного торсиона и приведение их к проектировочным производится посредством механического надреза. <...> Рассматривается влияние подобной компенсации на параметры вынужденного движения ММГ, проводится сравнительный анализ для моделей с идеальными и дефектными торсионами. <...> Показана возможность возникновения шумового сигнала, снимаемого с чувствительного элемента ММГ, при механическом исправлении жесткостных характеристик упругого подвеса. <...> В последнее время широкое распространение получила такая область механики, как микромеханика, объектами исследования которой являются различные микромеханические устройства: микроакселерометры, микрогироскопы, датчики давлений, микроактуаторы и другие микроэлектромеханические системы (MEMS-системы). <...> Лишь несколько фирм во всем мире способны производить требующие высокой точности исполнения основные конструктивные элементы (чувствительные элементы датчиков, маятники и т.д.) подобных микроустройств. <...> В связи с этим, при проектировании активно применяется моделирование микромеханических систем. <...> Микромеханический гироскоп (ММГ) представляет собой датчик, предназначенный для определения величины проекции вектора угловой скорости вращения на ось чувствительности прибора. <...> Принцип работы ММГ основывается на возбуждении вынужденных колебаний чувствительного элемента <...>