ПРОГРЕССИВНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ В МАШИНОСТРОЕНИИ THE ADVANCED TECHNOLOGIES IN MECHANICAL ENGINEERING УДК 533.9.004.14 В.А. Барвинок, В.И. Богданович, М.Ю. Русин, И.А. Докукина, С.Б. Воробьев НЕКОТОРЫЕ ФУНДАМЕНТАЛЬНЫЕ ПРОБЛЕМЫ МАТЕМАТИЧЕСКОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ ПЛАЗМЕННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ ВЫСОКИХ ЭНЕРГИЙ Сформулированы некоторые фундаментальные проблемы математического моделирования процессов получения покрытий вакуумным ионно-плазменным методом. <...> Введено понятие активной поверхностной зоны для описания процессов нетермической активации. <...> На основе представлений теории вероятности описаны основные стадии эволюции превращения адсорбированных частиц. <...> Уточнены некоторые достаточно общие теоретические соотношения, применяемые в теории формирования новой фазы на поверхности твердого тела. <...> Ключевые слова: функциональные проблемы, математическое моделирование, плазменные технологии, высокие энергии, нетермическая активация, поверхностные фокусоны, адсорбированные частицы. <...> Плазменная технология высоких энергий (ПТВЭ) получения специальных покрытий в вакууме из металлов, их композиций и сверхтвердых соединений находит все более широкое применение для повышения ресурса и надежности различных изделий машиностроения [1]. <...> С помощью электродугового испарителя или ускорителя в вакуумной дуге катодной формы создают плазменную струю, состоящую из ионов и атомов металла катода (или металлов катодов в многодуговом режиме) и электронов. <...> Основными особенностями этого плазменного потока является высокая степень ионизации плазмы (более 0,5), высокая начальная энергия ионов (более нескольких десятков эВ), средняя кратность ионизации ионов, превышающая единицу, и большая плотность потока массы металла в плазменной струе (соответствующая скорости роста покрытия 0,1 - 1 мкм/мин) [1, 2]. <...> Данный плазменный поток после различных вариантов обработки направляется на поверхность конденсации, находящуюся под регулируемым отрицательным потенциалом <...>