УДК 533.924 В.С. Бормашов, А.П. Волков, А.В. Голованов, С.А. Тарелкин, С.Г. Буга, В.Д. Бланк РЕАКТИВНОЕ ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ ПОВЕРХНОСТИ СИНТЕТИЧЕСКОГО МОНОКРИСТАЛЛА АЛМАЗА В ПЛАЗМЕ (Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов) e-mail: golovanovanton@rambler.ru Исследовано влияние реактивного ионного травления в плазме Ar/O2 на синтетический HPHT монокристалл алмаза. <...> Показано, что плазменная обработка может привести к сглаживанию поверхности алмаза. <...> Было достигнуто уменьшение среднеквадратичной шероховатости с 4,6 до 3,7 нм на базе 10 мкм Ч 10 мкм. <...> Топография и профили поверхности исследовались с помощью атомно-силовой микроскопии (АСМ) на различных пространственных масштабах. <...> Ключевые слова: реактивное ионное травление, синтетический алмаз, постмеханическая полировка, атомно-силовая микроскопия ВВЕДЕНИЕ Алмаз является одним из лучших материалов для видимой, ИК и рентгеновской оптики. <...> Он подходит для создания микролинз и дифракционных решеток для видимого и ИК света благодаря прозрачности в широком диапазоне длин волн [1]. <...> Углерод обладает низким атомным номером и служит для изготовления алмазных собирающих рентгеновских линз с низким поглощением [2]. <...> Алмаз демонстрирует самый высокий коэффициент полного отражения, что дает возможность изготовления рентгеновских зеркал [3]. <...> Рентгеновская оптика предъявляет высокие требования как к качеству поверхности алмазных оптических элементов, так и к степени кристаллического совершенства. <...> Наиболее подходящим методом для полировки и создания рельефных структур на поверхности алмаза является плазмохимическая обработка. <...> В настоящее время получили развитие две технологии: реактивное ионное травление (RIE) [4] и плазменное травление с источником индуктивно связанной плазмы (ICP) [5]. <...> Проблеме травления алмаза и изготовления различных элементов на его основе было уделено большое внимание [1–6]. <...> Однако большинство исследований посвящено обработке пленочных <...>