УДК 537.312.9 Д.А. Ганзий*, К.С. Кравчук**, И.И. Маслеников***, С.В. Прокудин** ИССЛЕДОВАНИЕ ЛОКАЛЬНЫХ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СВОЙСТВ И ФАЗОВЫХ ПЕРЕХОДОВ МЕТОДОМ НАНОИНДЕНТИРОВАНИЯ (*ЗАО НТ-МДТ, **Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов, ***ГУ МФТИ) e-mail: ganz@ntmdt.ru, sergei.tisnum@gmail.com, kskrav@gmail.com, igor.maslenicov@gmail.com Предложена аналитическая модель пластического взаимодействия токопроводящего индентора с исследуемым образцом. <...> Экспериментальная проверка модели осуществлена на сканирующем нанотвердомере «НаноСкан» и зондовой нанолаборатории «ИНТЕГРА», с использованием инденторов из легированного бором монокристалла алмаза. <...> Показано, что изменение значения тока дает дополнительную информацию о взаимодействии индентора с материалом. <...> Обсуждается влияние изменений удельного сопротивления и контактной площади, происходящих при фазовых переходах в кремнии, на измеряемое значение тока. <...> Ключевые слова: сканирующая зондовая микроскопия, наноиндентирование, легированный бором полупроводниковый алмаз, электрический контакт, сопротивление растекания, пьезорезонансный зонд, фазовый переход, кремний, механические свойства, электрические свойства ВВЕДЕНИЕ Измерения механических и электрических свойств материалов на нанометровых масштабах осуществляются, в основном, двумя типами приборов: сканирующими зондовыми микроскопами (СЗМ) и нанотвердомерами. <...> В последнее время активно разрабатываются устройства, объединившие в себе методы наноиндентирования и сканирующей зондовой микроскопии – сканирующие нанотвердомеры. <...> Примером такой измерительной системы является сканирующий нанотвердомер «НаноСкан-3D» и зондовая нанолаборатория «ИНТЕГРА» [1]. <...> Эти приборы работают как в режиме СЗМ, измеряя рельеф поверхности, карту модуля упругости Юнга и тока растекания, так и в режиме нанотвердомера, измеряя значения твердости и модуля Юнга методом измерительного индентирования [2] в соответствии с требованиями <...>