УДК 538.975: 544.023.2 К.С. Хорьков, М.Н. Герке, В.Г. Прокошев, С.М. Аракелян ОБРАЗОВАНИЕ ТОНКИХ УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ ФЕМТОСЕКУНДНОГО ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ В ВАКУУМЕ (Владимирский государственный университет им. <...> Г. и Н.Г. Столетовых) e-mail: freeod@mail.ru, laser@vlsu.ru ной абляции стеклоуглерода в вакууме 10-4 Торр. <...> Показаны результаты напыления при использовании Yb:KGW лазерной системы, которая имеет следующие параметры: центральная длина волны излучения 1030 нм, частота повторения импульсов 10 кГц, длительность импульса 280 фс, энергия в импульсе 150 мкДж и диаметр сфокусированного пятна порядка 50 мкм. <...> Ключевые слова: лазерная абляция, ультракороткие лазерные импульсы, наноструктуры, стеклоуглерод, алмазоподобные пленки ВВЕДЕНИЕ В настоящее время исследование проводящих материалов под действием ультракоротких импульсов лазерного излучения представляет значительный интерес с точки зрения разнообразных практических применений. <...> Вызвано это возможностью получения наноструктур и наноразмерных пленок с уникальными свойствами [1]. <...> Стеклоуглерод – изотропный, газонепроницаемый, твердый и прочный материал, сочетающий в себе свойства графита и стекла, способный выдерживать многократный быстрый нагрев с последующим быстрым охлаждением [2]. <...> Пленочные материалы обладают рядом достоинств по сравнению с объемными. <...> При этом порой затруднительно точно определить границу раздела поверхности и объема. <...> Свойства пленочных материалов в диапазоне 0,5-100 нм также характеризуются сильной зависимостью от толщины. <...> Получение углеродных пленок, в том числе и алмазоподобных, позволяет более подробно изучить физические основы образования пленок для их внедрения в технологические процессы. <...> МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА Среди физических методов получения тонких пленок следует выделить метод осаждения ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ 2012 том 55 вып. <...> Использование фемтосекундных лазеров имеет ряд преимуществ по сравнению с лазерами большей <...>