УДК 537.525 С.М. Баринов, В.И. Светцов, А.М. Ефремов СПЕКТРАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПЛАЗМЫ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА В МЕТАНЕ И ЕГО СМЕСЯХ С АРГОНОМ (Ивановский государственный химико-технологический университет) e-mail: svetsov@isuct.ru Исследованы спектры излучения в плазме 50% CH4 и 50% Ar в условиях тлеющего разряда постоянного тока. <...> Определены основные линии и полосы в спектре излучения. <...> Предложено, что полоса излучения CH 431 нм возникает в результате диссоциативного возбуждения CH4, в то время как линия H и полосы H2 возникают при прямом возбуждении электронным ударом соответствующих нейтральных частиц. <...> Ключевые слова: метан, спектры излучения, плазма ВВЕДЕНИЕ Плазма тлеющего разряда в метане и его смесях используется при получении тонких полимерных и алмазоподобных пленок и углеродных наноструктур [1, 2]. <...> При исследовании закономерностей процессов образования активных частиц в плазме метана широко используется метод эмиссионной спектроскопии, позволяющий получать качественные, а в ряде случаев и количественные данные по составу и концентрациям нейтральных компонент плазмы [3]. <...> Целью данной работы являлось спектральное исследование плазмы тлеющего разряда в метане и его смесях с аргоном. <...> МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА Эксперименты проводились в цилиндрической разрядной трубке длиной 54 см и диаметром 2,6 см в тлеющем разряде при давлениях газа 40 – 120 Па и токах разряда 20 – 70 мА. <...> Для регистрации спектра излучения плазмы в диапазоне 200-1000 использовалась двухканальная спектрометрическая система AvaSpec2048, обеспечивающая вывод данных на ПЭВМ. <...> Измерения в плазме метана и смесей метана с аргоном производились после 10-15 мин горения разряда, за это время внутренняя поверхность реактора покрывалась полимерной пленкой и устанавливалось постоянное значение температуры стенки. <...> 1 приведен эмиссионный спектр положительного столба тлеющего разряда в метане. <...> Продукты распада молекул метана в плазме представлены Бальмеровской серией линий <...>