УДК 621.793.1 ФОРМИРОВАНИЕ МУЛЬТИСЛОЙНЫХ СТРУКТУР ZnS/SiO2 ВЧ МАГНЕТРОННЫМ НАПЫЛЕНИЕМ НА МОДЕРНИЗИРОВАННОЙ УСТАНОВКЕ КАТОД-1М АЛАЛЫКИН С.С., ЗАКИРОВА Р.М., КОБЗИЕВ В.Ф., КРЫЛОВ П.Н., ФЕДОТОВА И.В. <...> Представлены результаты по использованию разработанного программно-аппаратного комплекса для получения мультислойных структур ZnS/SiO2 с заданными толщинами слоев. <...> Роль таких покрытий в нано- и микроэлектронике, нанобиотехнологии и медицине состоит в модификации поверхности, создании новых наноструктурированных микрообъектов, изменении физикохимических свойств материалов и устройств в целом [1]. <...> Упорядоченные структуры из плазмонных наночастиц в различных прозрачных материалах представляют значительный интерес для фотоники, плазмоники, сенсорики [11]. <...> Полупроводниковые тонкопленочные структуры являются одним из наиболее перспективных базовых элементов для газовых сенсоров и датчиков, в том числе ориентированных на работу в осложненных условиях высоких температур и агрессивных сред, содержащих экологически вредные и взрывоопасные газы [12]. <...> Гетероструктуры на основе А3-нитридов и А2В6-оксидов потенциально способны излучать свет в широчайшей спектральной области от инфракрасного излучения до глубокого ультрафиолета. <...> К настоящему времени большинство из исследованных многослойных структур получают различными методами напыления. <...> Эти методы позволяют получать структуры практически любого состава. <...> Среди этих методов следует выделить метод магнетронного напыления, характерной особенностью которого является наличие магнитного поля у распыляемой поверхности мишени, позволяющее локализовать плазму, и тем самым повысить скорость распыления. <...> Распыленные с мишени атомы осаждаются на подложке в виде пленки. <...> При получении мультислойных структур актуальным становится применение автоматизированных систем управления технологическими процессами. <...> Целью настоящей работы является исследование возможностей <...>