УДК 621.385.833 ИССЛЕДОВАНИЕ МАКРОСКОПИЧЕСКОЙ ФОРМЫ ЗОНДОВ СТМ ПРИ ИХ ИЗГОТОВЛЕНИИ МЕТОДОМ МЕХАНИЧЕСКОГО СРЕЗА ЖУЙКОВ Б.Л., ШЕЛКОВНИКОВ Е.Ю., ТЮРИКОВ А.В., КИЗНЕРЦЕВ С.Р., ОСИПОВ Н.И. <...> Изложены вопросы формирования платиновых игл СТМ методом механического среза. <...> Показана целесообразность применения метода динамики частиц для моделирования процесса резания. <...> Приведены сравнительные результаты экспериментальных и модельных срезов платиновой заготовки, обеспечивающих необходимую макроскопическую форму зондирующих острий. <...> ВВЕДЕНИЕ Сканирующая туннельная микроскопия получила значительное распространение в тех областях исследований поверхности, где получение атомного или близкого к нему разрешения является необходимым условием результативности эксперимента. <...> Поэтому совершенствование методик производства зондов сканирующего туннельного микроскопа (СТМ), одного из основных элементов, способствующих формированию атомного разрешения СТМ, является важной и актуальной задачей. <...> Применение платины в качестве материала для изготовления зондирующих острий (ЗО) СТМ обуславливается, в значительной степени, таким ее свойством как инертность, что позволяет зонду длительное время сохранять свою атомарную остроту [1]. <...> В настоящее время существует два основных метода изготовления платиновых ЗО, одним из которых является травление платиновой проволоки. <...> Электрохимическое травление платины – достаточно трудный (с химической точки зрения) процесс, потому что одно из главных преимуществ этого материала – инертность, становится препятствием. <...> Поэтому эффективное травление заготовки ЗО возможно лишь в высокотоксичных электролитах, содержащих цианид-ионы. <...> Кроме этого, к недостаткам метода электрохимического травления можно отнести сложность получения атомарно острой иглы из-за электрохимической полировки нановыступов кончика острия и отсутствия однозначного критерия окончания процесса травления <...>