52, № 4 УДК 535.247.4 : 621.383.52 ЯЧЕЙКА КРЕМНИЕВОЙ ИНТЕГРАЛЬНОЙ МИКРОСХЕМЫ СЧИТЫВАНИЯ СО ВСТРОЕННЫМ АНАЛОГО-ЦИФРОВЫМ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕМ А. В. <...> Академика Лаврентьева, 13 E-mail: makarov@isp.nsc.ru Предложен проект накопительной ячейки кремниевой интегральной микросхемы считывания сигнала со встроенным аналого-цифровым преобразователем для матричных ИКфотоприёмников на основе твёрдых растворов Hg1−xCdxTe с чувствительностью в спектральном диапазоне от 8 до 10 мкм. <...> Ячейка разработана по кремниевой технологии HCMOS8D ОАО «НИИМЭ и Микрон» (Москва) с проектной нормой 0,18 мкм. <...> При средней величине фототока 7 нА и времени интегрирования 7,5 мс расчётное значение эквивалентной шуму разности температур составляет 4,6 мК. <...> При площади фотодиода 20Ч20 мкм и квантовой эффективности 0,6 такой поток излучения будет генерировать фототок 7,2 нА плотностью 18 пА/мкм2. <...> В данном спектральном диапазоне предельные характеристики фотоприёмного устройства (ФПУ) достигаются в режиме ограничения фоном [1]. <...> В настоящее время для задач тепловидения в тонкой плёнке КРТ изготавливают матрицу одинаковых ФЧЭ групповым методом. <...> Поскольку размер каждого элемента в плоскости матрицы обычно равен 15–30 мкм, возникает необходимость в специальном устройстве, которое способно регистрировать фототок со всех элементов матрицы одновременно и считывать полученную информацию последовательно. <...> Будем называть его кремниевой интегральной микросхемой считывания сигнала (ИМСС). блюдения за объектами с температурой, близкой к комнатной, интерес представляет окно прозрачности в диапазоне длин волн 8–14 мкм. <...> Фоточувствительные элементы (ФЧЭ), способные регистрировать излучение в указанном диапазоне, можно изготовить из твёрдых растворов теллурида кадмия и ртути (КРТ). <...> В диапазоне длин волн 8–10 мкм при температуре объектов 300 К и угле поля зрения 79 80 АВТОМЕТРИЯ. <...> 52, № 4 Падающее излучение Матрица ФЧЭ Подложка КРТ ИМСС Рис. <...> Схема гибридной сборки Технология изготовления ФЧЭ <...>