УДК 621.385.833 МЕТОДЫ И СРЕДСТВА КОНТРОЛЯ ДИСПЕРСНОСТИ НАНОЧАСТИЦ В СКАНИРУЮЩЕЙ ЗОНДОВОЙ МИКРОСКОПИИ 1,2ШЕЛКОВНИКОВ Е. <...> В статье рассмотрены особенности совместного применения инерционных пьезоэлектрических приводов и программ обработки изображений для контроля дисперсности частиц методами сканирующей зондовой микроскопии. <...> Определены принципы взаимодействия приводов и датчиков перемещения с программами, осуществляющими определение размеров частиц и взаимную ориентацию изображений. <...> Сканирующая зондовая микроскопия является одним из наиболее информативных инструментов для контроля дисперсности частиц. <...> Для повышения эффективности сканирующего зондового микроскопа при осуществлении такого контроля применяются: специализированные инерционные приводы, совмещенные с датчиками; адаптивные методы сканирования поверхности; специализированные методы постобработки изображений, осуществляющие определение координат и размеров частиц [1 – 6]. <...> Инерционные пьезоэлектрические приводы наноперемещений используются в системах высокоточного позиционирования сканирующих зондовых микроскопов. <...> . . 7 1 – винт; 2 – гайка; 3 – изгибный пьезоэлемент; 4 – инерционный элемент с магнитом; 5 – крепежный элемент; 6 – измерительная катушка; 7 – вспомогательная катушка Рис. <...> Конструкция привода наноперемещений Привод управляется несимметричными пилообразными импульсами, во время пологого фронта которых происходит смещение инерционных элементов при неподвижной кинематической паре, а во время быстрого среза – смещение элементов кинематической пары. <...> Как показали исследования [6] более эффективное применение данных приводов 314 ХИМИЧЕСКАЯ ФИЗИКА И МЕЗОСКОПИЯ. <...> В настоящее время разработан ряд методов (повышение количества пьезоэлементов, изменение формы и скважность управляющих сигналов), позволяющих частично устранить или учесть влияния данные недостатки. <...> Среди них наиболее перспективным является изменение <...>