Т 56 (7) ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ 2013 УДК 537.31 В.С. Бормашов*, С.А. Тарелкин*, М.С. Кузнецов*, С.А. Терентьев*, С.Г. Буга*, А.Н. Семѐнов** ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СИНТЕТИЧЕСКИХ МОНОКРИСТАЛЛОВ АЛМАЗА С РАЗЛИЧНОЙ КОНЦЕНТРАЦИЕЙ ЛЕГИРУЮЩЕЙ ПРИМЕСИ БОРА (*Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов, ** Московский физико-технический институт (государственный университет)) e-mail: bormashov@gmail.com, sergey.tarelkin@gmail.com, mikuz@yandex.ru, s.ter@bk.ru, buga@tisnum.ru, semenov.alexan@gmail.com Проведено изучение электрофизических свойств синтетических HPHT алмазов, легированных бором, с помощью исследования эффекта Холла в диапазоне температур 77–800 K. <...> Установлены зависимости удельного сопротивления и концентрации легирующих примесей от количества бора в исходной ростовой смеси. <...> Ключевые слова: синтетический алмаз, полупроводник, эффект Холла ВВЕДЕНИЕ Синтетические монокристаллы алмаза – уникальные по своим механическим, оптическим, тепловым и электрическим свойствам материалы в современном высокотехнологичном приборостроении. <...> Хорошо известно, что алмаз самый твердый из природных материалов, обладает рекордной теплопроводностью и в чистом виде, без примесей, идеально прозрачен во всем оптическом диапазоне от ультрафиолетовой до дальней ИК области. <...> Алмаз также химически инертен, устойчив в агрессивных средах, обладает высокой термической стойкостью и высокой радиационной стойкостью. <...> При легировании элементами III и V групп алмаз приобретает примесную проводимость p- и n-типа, соответственно, с высокой подвижностью носителей заряда. <...> В настоящее время наиболее широко в разработке полупроводниковых устройств используются синтетические алмазы, легированные примесью бора. <...> В алмазе бор является акцептором с характерной величиной энергии активации равной 0,37 эВ. <...> Легированные бором алмазы обладают низким электрическим сопротивлением и проводимостью p-типа с высокой подвижностью носителей <...>