УДК 537.525 Д.Б. Мурин, А.М. Ефремов, В.И. Светцов, С.А. Пивоваренок, Е.М. Годнев ИНТЕНСИВНОСТИ ИЗЛУЧЕНИЯ И КОНЦЕНТРАЦИИ НЕЙТРАЛЬНЫХ ЧАСТИЦ В ПЛАЗМЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА ПОСТОЯННОГО ТОКА В СМЕСЯХ HClH2 И HClO2 (Ивановский государственный химико-технологический университет) e-mail: efremov@isuct.ru, svetsov@isuct.ru, dim86@mail.ru Проведено исследование влияния водорода и кислорода на спектральные характеристики и состав нейтральной компоненты в плазме хлористого водорода в условиях тлеющего разряда постоянного тока. <...> Посредством математического моделирования получены коэффициенты скорости возбуждения всех излучающих фрагментов и концентрации электронов при различных составах смесей хлористого водорода с водородом и кислородом. <...> Ключевые слова: плазма, излучение, интенсивность, возбуждение, концентрация, хлористый водород, водород, кислород ВВЕДЕНИЕ Плазма хлористого водорода, как источник атомов хлора, применяется при проведении плазмохимического травления металлов и полупроводников [1, 2]. <...> На практике обычно используют смеси HCl с инертными (Ar, He) или молекулярными (H2, O2, Cl2, N2) газами, варьирование начального состава которых позволяет гибко регулировать скорость, селективность и анизотропию травления. <...> Кроме этого, применение смесей HCl с молекулярными добавками позволяет достигать ряда специфических эффектов, не проявляющихся при обработке в индивидуальных газах. <...> Успешная реализация процессов плазмохимического травления невозможна без использования простых и невозмущающих методов контроля состава плазмы. <...> Основной сложностью при использовании данного метода является неоднозначная взаимосвязь измеряемых интенсивностей излучения и концентраций соответствующих частиц в основном состоянии [6]. <...> Установление такой взаимосвязи требует знания влияния внешних параметров разряда на концентрацию электронов и их энергетическое распределение, определяющие константы скоростей процессов под действием электронного <...>