Т 57 (2) ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ 2014 УДК 539.196.2 Н.В. Холодкова, И.В. Холодков ГЕТЕРОГЕННАЯ РЕКОМБИНАЦИЯ АТОМОВ НА ПОВЕРХНОСТЯХ ТВЕРДЫХ ТЕЛ (Ивановский государственный химико-технологический университет) Приводится анализ данных литературы и представлены значения вероятности гетерогенной рекомбинации атомов кислорода, азота и водорода на поверхностях разной природы, которые могут быть полезны при численном моделировании процессов в условиях неравновесной плазмы пониженного давления. <...> E-mail: kholodkova@isuct.ru Область научных интересов: физика и химия неравновесной плазмы, процессы взаимодействия плазмы с поверхностью Ключевые слова: гетерогенная рекомбинация, атом, кислород, азот, водород Уникальные возможности низкотемпературной плазмы, как среды для проведения химических реакций, широко используются в разнообразных областях современной науки и техники: травлении и поверхностной модификации различных неорганических и полимерных материалов [1,2], прогнозировании процессов под воздействием УФ-облучения или потока активных частиц, что является отражением условий низко лежащих околоземных орбит [3] и т.д. <...> Большая концентрация химически активных частиц в сочетании с низкой температурой газа, характерные для плазмы низкого давления, делают ее использование весьма перспективным. <...> Выбор и оценка параметров работы плазмохимических реакторов требует учета многих факторов, зависящих как от процессов генерации активных частиц в газовой фазе, так и от взаимодействия обрабатываемого материала и материала реактора Обзрная статья ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ 2014 том 57 вып. <...> Важную роль в проведении плазмохимических процессов играют атомы, образующиеся в результате диссоциации плазмообразующих газов. <...> Характер взаимодействия атомов с поверхностью материалов, количественной характеристикой которого является вероятность гетерогенной рекомбинации (γ), а <...>