Усеинов ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЗМОЖНОСТИ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ СИЛОВОЙ СПЕКТРОСКОПИИ ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ТОНКИХ ПОКРЫТИЙ (Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов) e-mail: igor.maslenicov@gmail.com, useinov@mail.ru С помощью метода измерительного наноиндентирования были получены значения твердости и модуля упругости для образцов покрытий алмазоподобного углерода на кремнии и платины на кремнии. <...> Зависимости механических характеристик системы от радиуса пятна контакта были обработаны с использованием различных моделей, и из этих данных были получены значения твердости и модуля упругости материала покрытий без влияния свойств подложки. <...> Модуль упругости покрытий был также определен с помощью метода силовой спектроскопии. <...> Ключевые слова: наноиндентирование, тонкие покрытия, твердость, модуль Юнга В настоящее время интерес представляет определение механических свойств покрытий с разделением соответствующих величин для пленки и подложки. <...> В данной работе рассматриваются два вида покрытий: алмазоподобный углерод (DLC) на кремнии (Si) и платина (Pt) на кремнии. <...> Исследования проводились методами наноиндентирования и силовой спектроскопии. <...> Метод наноиндентирования позволяет получать такие характеристики материала как твердость и модуль упругости (индентационный модуль). <...> Следует заметить, что данный способ исследования предполагает наличие объемного материала, и, в случае испытания слоистой структуры, измеряемое значение механических величин будет находиться между соответствующими значениями для пленки и подложки и лишь в некоторых случаях принимать граничные значения. <...> Так в случае измерения мягкой пленки на твердой подложке можно ожидать, что пластическая деформация будет происходить только в мягком слое, покрывающем субстрат, а значит и измеренное значение твердости будет характеризовать свойства покрытия. <...> В случае измерения модуля Юнга подложка всегда оказывает влияние <...>