УДК 535.36; 535.016; 621.372.81.09 Оценка потерь в оптических плёночных волноводах с шероховатыми границами и поглощением С. С. Даниленко, А. Н. Осовицкий Кафедра радиофизики Российский университет дружбы народов ул. <...> 6, Москва, Россия, 117198 Методом малых возмущений с использованием оптико-геометрического подхода решена задача о распространении света в плёночном волноводе с шероховатыми границами и поглощением. <...> Результаты этих исследований несколько расходятся с выводами развитой теории. <...> В итоге анализа выявленных несоответствий предложена более точная модель процесса рассеяния в плёночных волноводах с шероховатыми границами. <...> Введение Новые достижения в использовании интегральной оптики (нанофотоники) для значительного увеличения быстродействия современных компьютеров [1] вызвали рост интереса к оптическим плёночным волноводам, в особенности к системам «кремний на изоляторе» [2]. <...> На основе подобных волноводов, размещенных на полупроводниковой (кремниевой) подложке, строится целый ряд интегральнооптических устройств [3,4]. <...> Совместное использование указанных устройств обеспечивает оптическую многоканальную связь между электронными чипами и, как предполагают разработчики компаний IBM и Intel, приведёт к созданию компьютеров с терабитными скоростями [1]. <...> Однако теория распространения света в базовых волноводных структурах учитывает либо только потери на рассеяние, либо потери на поглощение (как правило, в одной из сред). <...> Цель данной работы—теоретически и экспериментально оценить потери лазерного излучения в подобных плёночных волноводах при наличии как шероховатости границ, так и поглощения. <...> Основные соотношения и их анализ Задача формулируется следующим образом. <...> 1), с комплексными диэлектрическими проницаемостями сред 2, 3 и 4. <...> Шероховатость границ раздела сред 1–2 и 2–3 характеризуется среднеквадратичными отклонениями от плоскости σ1, и σ2. <...> В данном волноводе распространяется волна заданной поляризации <...>