94–106 ОБРАБОТКА ИНФОРМАЦИИ УДК 621.397.133 Особенности формирования стереоскопических изображений растровым электронным микроскопом* Г.В. МАМЧЕВ 630102, РФ, г. Новосибирск, ул. <...> Е-mail: mamtchev@sibsutis.ru Растровые электронные микроскопы (РЭМ) являются эффективным средством анализа внутренней структуры микрообъектов, широко используемым в научных исследованиях, в системах контроля различных технологических процессов промышленного производства отдельных деталей, имеющих микроразмеры. <...> В РЭМ учитывается изменение вторичной электронной эмиссии, возникающей под действием первичных электронов сканируемого зонда, обусловленное разницей в топографии исследуемых микрообразцов. <...> Сигнал с коллектора, улавливающего вторичные электроны, после усиления преобразуется в телевизионное изображение, воспроизводимое жидкокристаллическим экраном (ЖКЭ). <...> Конструкция РЭМ легко может быть приспособлена для получения стереоскопических изображений за счет изменения угла падения электронного зонда в процессе сканирования поверхности микрообъектов, осуществляемого с помощью дополнительной отклоняющей системы. <...> Практический диапазон дополнительного изменения угла наклона электронного зонда находится в пределах 2…10°. <...> При механическом наклоне исследуемых микрообъектов с помощью гониометра появляется возможность получения многоракурсных изображений. <...> При реализации стереоскопического режима работы РЭМ появляется новая возможность оценки относительного расположения отдельных элементов или самих микрообъектов в трехмерном пространстве, увеличивается распознаваемость и дешифрируемость объектов рассматривания. <...> Фактически в три раза выше точность оценки абсолютной удаленности наблюдаемых деталей по сравнению с восприятием двумерных изображений. <...> В статье приведены аналитические выражения, характеризующие отображение трехмерных микрообъектов как в заэкранном, так и в предэкранном стереоскопических пространствах <...>