169–183 ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ УДК: 66.087.7; 66.087.3 Исследование in situ анодного окисления алюминия в водных растворах щавелевой кислоты методом эллипсометрии* В. <...> А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, кандидат химических наук. <...> А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, доктор физико-математических наук. <...> А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, кандидат технических наук. <...> Е-mail: rhl@isp.nsc.ru Методом эллипсометрии in situ изучен процесс анодного окисления алюминия в растворах щавелевой кислоты. <...> Эксперименты проводились в специально разработанной электрохимической ячейке. <...> Значения параметров растущего слоя проводилось с помощью решения обратной задачи эллипсометрии методом подгонки расчетных спектральных зависимостей эллипсометрических углов под экспериментальные данные в соответствии с основным уравнением эллипсометрии. <...> Экспериментально определено время быстрой стадии образования барьерного слоя и медленной стадии образования толстого оксида. <...> Определены кинетические закономерности стадий процесса образования анодного оксида. <...> Показано, что барьерный слой формируется в течение 1-2 с, имеет толщину 30… <...> На медленной стадии роста при напряжениях ниже 30 В об* Статья получена 29 января 2015 г. Работа выполнена в рамках проекта № 10.1151.2014/К, выполняемого в рамках государственного задания Министерства образования и науки РФ. <...> 169–183 CHEMICAL TECHNOLOGY 170 В.Н. КРУЧИНИН, Н.Ф. УВАРОВ и др. разуется плотный слой. <...> При увеличении напряжения выше 30 В наблюдается существенное увеличение скорости роста анодного слоя. <...> При этом слой становится мезопористым, содержит одномерно упорядоченные поры приблизительно одинакового размера. <...> Оценены значения пористости слоя, которые согласуются с результатами прямого исследования морфологии пленки методом электронной микроскопии. <...> Обнаружено, что с ростом напряжения увеличивается шероховатость границы раздела фаз и в растущий слой <...>