РЕНТГЕНОЭЛЕКТРОННОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ СОСТАВА ИСХОДНОЙ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ НА ИЗМЕНЕНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО СТРОЕНИЯ ПЛЕНОК ГЕКСАГОНАЛЬНОГО НИТРИДА БОРА, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ PECVD ИЗ БОРАЗИНА (300,00 руб.)

Первый автор	Ильинчик
Авторы	Меренков И.С.
Страниц	8

ID	387227
Аннотация	Пленки гексагонального нитрида бора синтезированы методом плазмохимического осаждения из газовой смеси боразина и аммиака или гелия на подложке Si(100). Методом РФЭС исследованы изменения электронного строения и химического состава пленок в зависимости от состава исходной газовой смеси. Установлено, что химический состав полученных образцов зависит от используемого газа.
УДК	546.27: 544.171.6:544.023.26

Ильинчик, Е.А. РЕНТГЕНОЭЛЕКТРОННОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ СОСТАВА ИСХОДНОЙ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ НА ИЗМЕНЕНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО СТРОЕНИЯ ПЛЕНОК ГЕКСАГОНАЛЬНОГО НИТРИДА БОРА, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ PECVD ИЗ БОРАЗИНА / Е.А. Ильинчик, И.С. Меренков // Журнал структурной химии .— 2016 .— №4 .— С. 41-48 .— URL: https://rucont.ru/efd/387227 (дата обращения: 26.04.2024)