МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ И СИСТЕМЫ MICROELECTRONIC DEVICES AND SYSTEMS УДК 53.082.743 Преобразователи магнитного поля на основе анизотропных магниторезистивных тонкопленочных структур для работы в широком диапазоне температур Н. <...> Чиненков1,3 1Национальный исследовательский университет «МИЭТ» 2ОАО «Автоэлектроника» (г. Калуга) 3ООО «СПИНТЕК» (г. Москва) Magnetic Field Sensors Based on Anisotropic Magnetoresistive Thin-Film Structures for Work in a Wide Temperature Range N.A. <...> Chinenkov1,3 1National Research University of Electronic Technology, Moscow 2JSC Avtoelektronika 3«SPINTEK» LLC, Moscow Представлены результаты работ по созданию и оптимизации геометрии преобразователей магнитного поля на основе анизотропных магниторезистивных тонкопленочных структур. <...> Получены преобразователи магнитного поля с нечетной характеристикой с чувствительностью до 23,7 (мВ/В)/(кА/м) и 180-градусный преобразователь угла поворота с амплитудой сигнала 15 мВ/В. <...> Полученные преобразователи апробированы в датчиках угла поворота, оборотов и фазы в автомобильной промышленности. <...> Характеристики разработанных преобразователей показали соответствие аналогам ведущих мировых фирм. <...> Ключевые слова: анизотропный магниторезистивный эффект; сенсор магнитного поля; магнитные пленки; датчик углового положения; датчик угла поворота; датчик оборотов; датчик фазы. <...> The results of the work on creation of the design and geometry optimization of the magnetic field sensors based on anisotropic magnetoresistive thin-film structures have been presented. <...> The magnetic field sensors with an odd linear response with the sensitivity up to 23.7 (mV/V)(kA/m) and 180 degree rotation sensor with the signal amplitude 15 mV/C have been obtained. <...> The possibility of the developed Н.А. Дюжев, Н.С. Мазуркин, В.С. Поздняков, А.С. Юров, М.Ю. Чиненков, 2015 Известия вузов. <...> ЭЛЕКТРОНИКА Том 20 № 2 2015 113 Н.А. Дюжев, Н.С. Мазуркин, В.С. Поздняков и др. sensors functionality in hard environments in the temperature range from <...>