УДК 681.586 Тензорезистивные МЭМС-преобразователи давления и модули на их основе Д. <...> Суханов1,2 1Национальный исследовательский университет «МИЭТ» 2НПК «Технологический центр» (г. Москва) 3Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН (г. Москва) Tensoresistive MEMS Pressure Transducers and Modules Based on Them D.V. <...> Sukhanov1,2 1National Research University of Electronic Technology, Moscow 2SMC «Technological Centre», Moscow 3INME RAS, Moscow Представлены результаты разработки группы тензорезистивных преобразователей давления, изготовленных по технологии объемной микрообработки кремния. <...> Рассмотрены одноканальные преобразователи абсолютного и избыточного давления на основе сложнопрофилированных мембран со встроенной защитой от перегрузки. <...> Показаны их преимущества по сравнению с преобразователями давления, созданными на основе кремниевых плоских мембран и мембран с жестким центром. <...> Описан многоканальный сканер давления для измерения давления на поверхности моделей летательных аппаратов при проведении испытаний в аэродинамической трубе. <...> Приведены конструктивно-технологические принципы создания многоканальных модулей для измерения газодинамических потоков. <...> Представлены матрицы чувствительных элементов давления и модули на их основе для тактильных датчиков, а также конструкция кремниевой матрицы чувствительных элементов давления и модулей на их основе, предназначенных для использования в составе установки тактильной диагностики внутренних органов при проведении операций малоинвазивной хирургии. <...> Ключевые слова: многоканальный сканер давления; МЭМС; тактильный датчик; тензорезистивный преобразователь давления. <...> The results of development of the group of tensoresistive pressure transducers manufactured by the bulk micromachining technology have been presented. <...> Преобразователи давления в составе датчиков находят широкое применение в нефтегазовой отрасли, атомной энергетике, медицине, авиационной, космической промышленности и военной аппаратуре. <...> Независимо от области применения преобразователи давления должны обеспечивать <...>