УДК 621.3.049.77 Моделирование характеристик и оптимизация конструктивно-технологических параметров интегральных магниточувствительных элементов в составе микро- и наносистем А.В. Козлов, А.Ю. Красюков, Т.Ю. Крупкина, Ю.А. Чаплыгин Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Characteristics Simulation and Optimization of Constructive and Technological Parameters of Integrated Magnetosensitive Elements in Micro- and Nanosystems A.V. <...> Chaplygin National Research University of Electronic Technology, Moscow Рассмотрены особенности приборно-технологического моделирования интегральных магниточувствительных элементов в составе микро- и наносистем. <...> Представлены результаты моделирования и оптимизации конструктивно-технологических параметров для магниточувствительных транзисторов, интегральных элементов Холла, формируемых в рамках стандартной КМОП-технологии, полевого датчика Холла на основе КНИ-структур, а также характеристики концентраторов магнитного поля. <...> Ключевые слова: интегральные магниточувствительные элементы; магниточувствительные транзисторы; интегральные элементы Холла; приборнотехнологическое моделирование. <...> The results of the simulation and optimization of the integrated magnetosensitive elements as a part of micro- and nanosystems have been considered. <...> The results of the simulation and optimization of the constructive – technological parameters for magnetosensitive transistors, Hall integrated elements, formed within the CMOS technology standards and the field Hall sensor based on the SOI technology as well as the characteristics of magnetic field concentrators have been presented. <...> Keywords: integrated magnetosensitive elements; magnetosensitive transistors; integrated Hall elements; process and device simulation. <...> Одно из важных направлений научно-технических исследований в области создания и совершенствования базовых элементов микроэлектроники и микросистемной техники – разработка и использование методов приборно-технологического А.В. Козлов, А.Ю. Красюков, Т.Ю. Крупкина, Ю.А. Чаплыгин, 2015 Известия вузов. <...> Результаты исследований позволяют решать широкий круг задач по разработке технологических процессов, интегральных полупроводниковых приборов, обеспечивать интерфейс между производством и дизайн-центрами, повышать уровень технологичности <...>