УДК 621.315.592 Детекторы терагерцового излучения на основе массивов полевых наногетероструктурных AlGaAs/InGaAs/GaAs транзисторов Д. <...> Шаповал1 1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (г. Черноголовка) 2Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Terahertz Radiation Detectors Based on Arrays of Field Nanoheterostructure AlGaAs/InGaAs/GaAs Transistors D.M. <...> Shapoval1 1Institute of Technology of Microelectronics and Particularly Pure Materials Of RAS, Chernogolovka 2National Research University of Electronic Technology, Moscow Приведены результаты исследований терагерцовых детекторов с пространственной последовательно и параллельно соединенной транзисторной структурой на основе арсенид-галлиевой наногетероструктуры с асимметричным Т-образным затвором в каждом транзисторе. <...> Измерена чувствительность свыше 1000 В/Вт и 50 мА/Вт соответственно для последовательного и параллельного соединения транзисторов. <...> It has been shown that the photovoltaic/photoconductive detectors demonstrate terahertz responses without using additional antenna elements. <...> The sensitivity of up to 1000 V/W and 50 mA/W for the serial and parallel connection of transistors has been measured. <...> Нелинейные свойства плазмонных возбуждений в двумерном электронном канале полевого транзистора (ПТ) могут использоваться для детектирования терагерцового излучения [1]. <...> Плазмонные терагерцовые детекторы на ПТ могут работать в широком диапазоне терагерцовых частот и температур окружающей среды и имеют хороший баланс между чувствительностью и добротностью [2, 3]. <...> Для получения ненулевого терагерцового отклика на ПТ обязательно наличие асимметрии электронного канала ПТ. <...> Обычно такая асимметрия создается путем асимметрии ввода терагерцового излучения в канал ПТ со стороны истока или со стороны стока [4] либо путем задания постоянного тока стока через канал ПТ [5]. <...> Размеры ПТ на два или даже три порядка величины меньше длины волны терагерцового излучения, поэтому требуются специальные антенные элементы для эффективного связывания терагерцового излучения с плазмонными колебаниями в канале ПТ [2, 3, 6]. <...> Однако дополнительная антенна не является <...>