УДК 621.3.087.92 Математическое моделирование влияния концентрации примеси на величину тока стока КНИ полевого датчика Холла А.В. <...> Козлов, М.А. Королёв, С.С. Петрунина Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Mathematical Simulation of Doping Concentration Influence on Drain Current Value of SOI Field-Effect Hall Sensor A.V. <...> Petrunina National Research University of Electronic Technology, Moscow Проведено исследование влияния концентрации примеси в рабочем слое и объеме подложки на ток стока КНИ полевого датчика Холла средствами приборно-технологического моделирования в пакете Synopsys Sentaurus. <...> Выполнена настройка численной модели путем сопоставления передаточных ВАХ: расчетной и ранее экспериментально созданного и измеренного образца КНИ полевого датчика Холла. <...> Показано, что при низких концентрациях в рабочем слое ток стока сильно зависит от потенциала верхнего затвора, а уровень легирования в объеме подложки влияет на ток стока лишь при работе прибора в режиме обеднения. <...> Ключевые слова: КНИ полевой датчик Холла; Synopsys Sentaurus; концентрация примеси; ток стока. <...> The influence of the doping concentration in the active layer and in the bulk substrate on the drain current of the SOI field by the Hall sensor devicetechnological simulation package Synopsys Sentarius has been studied. <...> It has been shown that at low concentrations in the active layer the drain current depends on the capacity of the front gate and the doping concentration level of the bulk substrate affects the drain current only when the device is operating in depletion mode. <...> Keywords: the SOI field by the Hall sensor, device-technological simulation package Synopsys Sentaurus, the doping concentration, the drain current. <...> Полевой датчик Холла (ПДХ) на основе КНИ-структуры превосходит классический датчик Холла по следующим критериям [1, 2]: может использоваться как высокотемпературный (до 300 °С) преобразователь магнитного поля; имеет высокую устойчивость к воздействию радиации <...>