УДК 681.321 Об эквивалентности физико-вероятностного и физикостатистического подходов к построению моделей надежности на примере деградации механических элементов МЭМС С.П. <...> Тимошенков, В.Н. Горошко, Б.М. Симонов, В.В. Калугин, А.С. Шалимов Национальный исследовательский университет «МИЭТ» About Equivalence of Physico-probabilitistic and Physico-statistical Approaches to Building of Reliability Models on an Example of MEMS Mechanical Elements Degradation S.P. <...> Shalimov National Research University of Electronic Technology, Moscow Рассмотрены два подхода, используемые для обоснования моделей надежности: физико-вероятностный и физико-статистический, показана их эквивалентность. <...> Two approaches used for justifying the reliability models – the physicalprobabilistic and physical-statistical ones – have been considered. <...> Среди направлений обоснования моделей надежности широко известны два подхода: физико-вероятностный и физико-статистический. <...> Обобщенный процесс деградации изделий электронной техники, в том числе микроэлектромеханических приборов и систем, в случае применения физико-вероятностного подхода аппроксимируется непрерывным марковским процессом диффузионного типа, подчиняющимся стохастическому дифференциальному уравнению первого порядка типа Ито [2]: dx t A t dt B t d t( ) , ( ) ( ) ( ) (1) где x( )t определяющий параметр (ОП) изделий электронной техники; t – время; ( )t случайная составляющая гауссовского типа; A( )t детерминированная функция, характеризующая изменение среднего значения ОП (скорости, или коэффициента сноса); B( )t детерминированная функция, характеризующая изменение дисперсии ОП (коэффициента диффузии). <...> ЭЛЕКТРОНИКА Том 20 № 2 2015 203 Краткие сообщения за (т.е. в течение времени от начала испытаний до достижения предельного уровня определяющих параметров испытуемых изделий (1)) вид функций Для определения вида функции распределения во времени до возникновения первого откаA( )t и B( )t конкретизируется. <...> Процесс деградации изделий электронной техники (совокупности однотипных изделий) рассматривается как однородный, т.е. с постоянной средней скоростью <...>