52, № 2 НАНОТЕХНОЛОГИИ В ОПТИКЕ И ЭЛЕКТРОНИКЕ УДК 621.382 : 535.231.62 О МОЗАИЧНЫХ НЕОХЛАЖДАЕМЫХ МИКРОБОЛОМЕТРИЧЕСКИХ ПРИ¨ ЕМНИКАХ ИНФРАКРАСНОГО И ТЕРАГЕРЦОВОГО ДИАПАЗОНОВ М. А. <...> Николаева, 8 E-mail: kozlov@isp.nsc.ru Синтезирована конструкция матричных мозаичных фотоприёмников (МФП) и предложен ряд схем блоков адресации, уменьшающих «слепую зону». <...> Разработана прецизионная технология изготовления мозаичных фотоприёмников с суммарным размером слепой зоны не более 30 мкм. <...> Полученные результаты при создании неохлаждаемых микроболометрических МФП форматом 3072Ч576 на основе субмодулей 384Ч288 с шагом фоточувствительных элементов 17–51 мкм в ИК-диапазоне обеспечивают эффективность преобразования изображений ∼99 %, а при шаге фоточувствительных элементов 100 мкм в терагерцовом диапазоне — 100 %. <...> Ключевые слова: мозаичный фотоприёмник, неохлаждаемый микроболометр, кремниевый мультиплексор, схема считывания фотосигналов, инфракрасный и терагерцовый диапазоны. <...> Значительное увеличение количества фоточувствительных элементов (ФЧЭ) больших размеров в однокристальных матричных микроболометрических приёмниках (ММБП) излучения дальнего инфракрасного и терагерцового диапазонов приводит к существенному росту линейных размеров и активной площади кристаллов кремниевых мультиплексоров (КМ), на основе которых создаются ММБП, и ограничивается неприемлемым уменьшением процента выхода годных кристаллов в процессе производства КМ и ММБП [2, 4–7]. <...> Перспективным техническим решением задачи кардинального увеличения формата неохлаждаемых ММБП является мозаичный принцип построения, при котором несколько кристаллов субмодулей ММБП меньшего формата устанавливаются встык на общем основании (рис. <...> При этом известные конструктивно-технологические решения для линейчатых МФП невозможно реализовать в мозаичных ММБП из-за отсутствия места для смещения ФЧЭ [4]. <...> Основная проблема МФП — наличие «слепых зон», обусловленных отсутствием <...>